三星晶圆代工厂将采用三井化学公司的EUV光罩护膜
2月26日消息，行业消息人士称，由于芯片制造商希望提高超精细加工的生产率，三星电子（Samsung Electronics）的代工业务将从三井化学（Mitsui Chemicals）购买价值数十亿韩元的EUV（极紫外光刻）光罩护膜。经过最终测试后，三星将在其韩国华城园区S3工厂的3纳米晶圆代工生产线上采用EUV光罩护膜进行量产。（首尔经济日报）
（文章来源：界面新闻）
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